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仕様 高精度静電レンズ用高圧電源(16bit分解能) 電磁フォーカス用高精度電流源(20bit分解能)安定性5ppm/℃ | ||
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外観 | 項目 | 仕様 |
静電レンズ用 カソード、OL、IL、PLレンズ |
出力電圧:0~-10kV / 0~-9kV /0~-4kV /0~-5kV /0~-3kV 等 出力可変:連続可変(16ビット分解能) 出力可変指令:USB経由シリアルコマンド 出力安定性:リップル電圧 0.0001%FS以下 |
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電磁レンズ用 Def 4極用2組 Stig 8極用2組 |
定電流:0~±5A/負荷コイル5Ωmax等 出力可変:連続可変(20ビット分解能) 出力可変指令:USB経由シリアルコマンド 出力安定性:リップル電圧 0.0001%FS以下 |
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MCP駆動高圧電源 | MCP加速電圧:0~+2kV スクリーン加速電圧:0~4kV (フロート) 出力可変:連続可変(16ビット分解能) 制御方式:比例制御 |
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制御入出力 | 入力:4系統(割り込み監視) 出力:4系統(status) | |
制御ソフト | PC windows版 専用ソフト 制御メモリバンク:10 |
仕様 高精度静電レンズ用高圧電源(16bit分解能) | ||
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外観 | 用途 | 仕様例 |
静電レンズ 投影レンズ MCP駆動電源 |
出力電圧:0~-5kV / 0~+5kV /0~-10kV/0~+10kV等 出力可変:連続可変(16ビット分解能) (20ビット分解能までの製作実績があります) 出力可変指令:マニュアル指令/USB経由シリアルコマンド 指令メモリ機能:8メモリセット 出力安定性:リップル電圧 0.0001%FS以下 |
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